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CN201080066639.X 真空阀
专利申请号: CN201080066639.X
专利名称: 真空阀
专利类型: 发明专利
专利权人: 三菱电机株式会社
专利发明人: 三木真一
公告日期: -
公告号: -
专利摘要:
真空阀在可动电极棒上设有波纹管,并通过伴随着可动电极棒的动作使波纹管伸缩来使真空容器内保持气密,但存在当可动电极棒进行断开动作时波纹管会产生压曲这样的问题。本发明的真空阀包括:真空容器,其由绝缘筒(1)和与该绝缘筒的两端部接合的固定侧端板(2)及可动侧端板(3)构成;固定电极(7)及可动电极(8),其以相对的方式配置于所述真空容器的内部;可动侧电极棒(5),其一端固接着可动电极(8),另一端被拉出至真空容器的外部;以及波纹管(6),其具有伴随着所述可动电极棒(5)的直线移动而伸缩的折皱部,其中,将圆筒形状的波纹管支承件(12)以其内侧与波纹管(6)的折皱部接触的方式固定于真空容器。
邮编地址: 日本东京
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